Турбомолекулярный насос – разновидность вакуумного оборудования, предназначенного для откачки газов из замкнутых объемов до образования в последних сверхвысокого вакуума. В настоящее время заказать турбомолекулярные насосы https://tako-line.ru/catalog/vakuumnoe_oborudovanie/vakuymnye_nasosy/turbomolekulyarnye_nasosy/, расходники и дополнительное оборудование к ним легко можно на сайтах специализированных компаний.
Особенности устройств и принцип их работы
Турбомолекулярные относятся к кинетическим вакуумным насосам – в их работе используется кинетическая энергия движения рабочих органов. В частности, вращение турбинных роторов со скоростью до 100 тысяч оборотов в минуту.
Конструктивно турбонасос состоит из нескольких узлов:
- Высокоскоростной ротор с лопатками, приводимый в действие электродвигателем.
- Неподвижный статор с направляющими ребрами.
- Входная и выходная камеры.
Принцип работы турбомолекулярного насоса основан на передаче кинетической энергии от лопаток ротора молекулам откачиваемого газа. Вращаясь с огромной скоростью, лопатки как бы выбрасывают молекулы из рабочей камеры, создавая разрежение.
Статор играет роль направляющего аппарата, обеспечивая эффективную откачку в осевом направлении. Чем выше скорость вращения ротора, тем ниже остаточное давление в камере.
Современные турбомолекулярные насосы способны создавать сверхглубокий вакуум до 10-10 мм рт. ст. Это сопоставимо с вакуумом межпланетного пространства.
Области применения турбонаосов весьма разнообразны. Они используются в аналитическом оборудовании для спектроскопии и масс-спектрометрии, в технологиях напыления тонких пленок, при создании вакуумной изоляции и многом другом.
По сравнению с другими типами вакуумных насосов турбомолекулярные отличаются рекордной производительностью при сверхнизком конечном давлении. Однако их стоимость достаточно высока, поэтому часто турбонасосы работают в комплексе с более дешевыми форвакуумными насосами.